[이코노미21 신만호 선임기자] 삼성전자가 D램 등 메모리 공정에 일본산 불화수소 대신 국내산을 대체 투입하기 시작했다. 일본의 첨단소재 3종에 대한 수출규제 후 두달이 안돼 대체제 투입을 시작한 것이다.
삼성전자와 SK하이닉스가 국내산 불화수소로 대체 투입을 예상보다 빠르게 진행하면서 연말쯤이면 대체작업이 완료될 것이라는 전망이다.
3일 반도체 업계에 따르면 삼성전자는 국내 솔브레인과 이엔에프테크놀로지가 생산한 불화수소를 납품받아 8월 중순부터 일부 공정에 투입하기 시작했다. 두 회사는 원재료인 무수불산을 중국에서 수입해 고순도의 불화수소 액상 제품을 만들었다. 지금까지 일본은 중국이나 한국에서 고순도 불화수소를 만드는게 어렵다고 말했다.
불화수소는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 세정과 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼 식각(에칭) 공정에 사용된다. 미세한 작업인 식각공정에는 고순도의 일본산 불화수소를 공급받아 사용해 왔으며, 비교적 낮은 순도의 불화수소를 사용할 수 있는 세척 공정에는 국내산 불화수소도 사용하고 있다.
이번에 생산에 성공한 국내산 불화수소는 아직까지는 모든 공정라인에 투입되는 것은 아니다. 삼성전자는 국내산 불화수소를 민감도가 낮은 공정부터 순차적으로 투입하고 있으며 민감도가 높은 공정으로 확대할 계획인 것으로 알려졌다.
SK하이닉스도 국내산 불화수소를 조만간 투입할 예정이다. SK하이닉스는 일본산 불화수소를 대체할 수 있는지를 확인하기 위해 국내 불화수소 생산기업인 솔브레인으로부터 고순도 불화수소 샘플을 공급받아 공정에 적용여부를 테스트해 왔다. [이코노미21]
