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‘반도체용 초순수’ 국산화 돌입...생산설비 착공
‘반도체용 초순수’ 국산화 돌입...생산설비 착공
  • 신만호 선임기자
  • 승인 2021.11.17 12:50
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반도체 표면의 각종 부산물, 오염물 등 세척하는데 사용
반도체용 초순수 생산·공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존
환경부, ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’ 개최

[이코노미21 신만호 선임기자] 정부가 반도체용 필수 공업용수인 ‘초순수(Ultra Pure Water)’를 국산화하기로 했다.

초순수는 초미세회로(nano meter: 10-9m)로 구성된 반도체 표면에 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는데 사용된다. 또한 초순수 내에 불순물이 거의 없는 상태(유기물 0.01ppm 이하)를 유지해야 하는 최고 난이도의 수처리 기술이 필요하다.

우리나라 반도체 기업은 반도체용 초순수 생산과 공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다.

이에 환경부는 16일 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫걸음으로 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’을 열고 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.

이번 착공식을 시작으로 환경부 산하 한국수자원공사, 한국물기술인증원과 관련 업계는 2025년까지 △초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 △ 초저농도 용존산소 제거용 탈기막 △고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 기술 등 연구를 수행한다.

한국수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치‧운영해 관련 생산공정의 설계‧운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심기자재 60% 국산화를 목표로 하고 있다.

한편 2020년 글로벌 워터 인텔리저스 보고서에 따르면 반도체와 전자, 의약, 철강 등 주요 산업에서 사용되는 고순도 공업용수 분야의 세계 시장 규모는 2024년 23조원 규모로 성장할 것으로 전망된다. 이 중에서 반도체용 초순수 시장은 세계적으로 4조4천여억원, 국내는 1조4천여억원으로 추산된다. [이코노미21]

실증플랜트 착공식 행사장 전경. 사진=환경부
실증플랜트 착공식 행사장 전경. 사진=환경부

 


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