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일본산 불화수소 대체할 중국, 대만, 국내산 등 시험 중
일본산 불화수소 대체할 중국, 대만, 국내산 등 시험 중
  • 신성은 선임기자
  • 승인 2019.07.17 15:45
  • 댓글 0
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국내 반도체 기업들은 일본의 수출규제로 사용이 어려워진 일본산 불화수소를 대신해 중국, 대만, 국내산 등으로 대체재 테스트를 진행하고 있다.

일본의 수출규제가 장기화할 가능성을 배제할 수 없어지면서 삼성전자와 SK하이닉스는 일본산을 대체할 수 있는 방안을 모색해 왔다.

불화수소는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 세정과 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼 식각(에칭) 공정에 사용된다. 미세한 작업인 식각공정에는 고순도의 일본산 불화수소를 공급받아 사용해 왔으며, 비교적 낮은 순도의 불화수소를 사용할 수 있는 세척 공정에는 국내산 불화수소도 사용하고 있다.

SK하이닉스는 일본산 불화수소를 대체할 수 있는지를 확인하기 위해 국내 불화수소 생산기업인 솔브레인으로부터 고순도 불화수소 샘플을 공급받아 공정에 적용여부를 테스트하고 있다.

이번에 솔브레인 생산한 고순도 샘플은 중국산 불화수소를 정제해 만든 것으로 알려졌다.

삼성전자는 일본산 이외 제품에 대한 데스트 작업을 진행하고 있으나 아직 어느 회사 제품이 될지는 밝히기 어렵다는 입장이다. 삼성전자는 모든 가능성을 두고 방법을 찾고 있는 상황이다.

일본의 수출규제가 강화, 장기화한다면 수급선 다변화는 불가피하다. 다만 이번 테스트가 성공해도 실제 제품생산으로 이어지기 위해선 최소 6개월 이상의 시간이 필요하다. 업계는 반도체 제조공정이 1~2개월 정도 소요되며 새로운 소재로 생산된 반도체의 기능을 확인하는 품질 검사까지 필요해 시간을 줄이는 데 한계가 있다고 한다.

솔브레인은 국내에서 불화수소를 고순도로 정제하는 기술을 유일하게 가지고 있다. 솔브레인 CI​솔브레인은 국내에서 불화수소를 고순도로 정제하는 기술을 유일하게 가지고 있다. 솔브레인 CI
솔브레인은 국내에서 불화수소를 고순도로 정제하는 기술을 유일하게 가지고 있다. 솔브레인 CI

 


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