[이코노미21 이상훈] 반도체 웨이퍼 가공 장비 및 공정 솔루션 제공 기업인 네덜란드의 ASM이 우리나라에 1억달러를 투자한다. 미국의 중국 규제로 대외 환경의 불확실성이 커지는 가운데 주요 반도체 장비 기업들이 반도체 제조 강국인 한국에 투자를 늘리고 있다.

벤저민 로 ASM 최고경영자(CEO)는 23일 서울 강남구 조선팰리스 호텔에서 열린 간담회에서 이같은 투자 계획을 밝혔다. 투자 계획에 따르면 2025년까지 경기도 화성시에 제2제조연구혁신센터를 신설하고 연구개발(R&D)센터와 생산기지 규모를 기존 대비 R&D 면적은 2배, 생산면적은 3배 키운다.

로는 한국은 글로벌 지사 중 유일하게 플라스마 강화 원자층증착(PEALD) 장비를 생산하기 때문에 증설을 결정했다면서 한국이 반도체 시장에서 굉장히 중요하다고 강조했다. PEALD 장비는 주로 최선단 D램 패터닝 공정에서 사용되며 ASM은 2019년 화성 동탄에 화성캠퍼스를 설립해 해당 기술과 장비를 개발하고 생산하고 있다.

ASM은 첨단 공정 필수 장비인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하는 네덜란드 기업 ASML의 모태 기업이다.

ASML은 화성에 한국 지사 사옥과 부품 재제조시설 등을 신설하는 ‘화성 클러스터’ 사업을 진행하고 있다. 또 ASML 코리아는 최근 용인에 노광장비 관련 기술을 전수하는 글로벌트레이닝센터를 열었다. [이코노미21]

이상훈 기자 다른기사 보기